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[첫 페이지] [공동 장비 현황]
 
+ 공지사항
장비 제목 날짜
공동 장비 학과 공동장비 이용 절차 준수 안내(타학과 및 외부이용자) 2017-04-11
공동 장비 E-Beam Evaporator(SNTEK) Source 안내 2017-02-23
공동 장비 11/6(일) 정전 안내 2016-11-03
공동 장비 E-Beam Evaporator(A-tech) 수리 안내 2016-11-01
공동 장비 E-Beam Evaporator 진공 Pump Overhaul 수리 안내(5/13~22) 2016-05-21
공동 장비 증류기 사용 안내 2016-04-11
공동 장비 건물 정전 안내(11/8(일)) 2015-11-04
공동 장비 E-Beam Evaporator(A-Tech) 그리스 사용 금지 2015-09-12
공동 장비 E-Beam Evaporator(A-Tech) 수리 안내 2015-09-09
공동 장비 신규장비_E-Beam Evaporator(SNTEK) 사용자 교육(7/21) 안내 2015-07-20
공동 장비 고온 Vacuum Chamber Furnace(1800℃) 사용 안내(사용료부과) 2015-03-24
공동 장비 E-Beam Evaporator Cryo Pump 수리 안내(10/17~22) 2014-10-13
공동 장비 E-Beam Evaporator Rotary Pump 교체 수리 안내(~9/15) 2014-09-12
공동 장비 정전안내(11/3, 일요일) 2013-10-29
공동 장비 E-Beam Evaporator 챔버 Overhaul 수리 안내(7/26~29) 2013-07-25
공동 장비 학과 공동장비 사용료 변경, 운영 협조 요청(13.7/1부) 2013-06-27
공동 장비 E-Beam Evaporator 고장 수리 완료 안내(4/3(수) 18:00~) 2013-04-04
내용 E-Beam Evaporator의 Thickness Monitor가 Inficon SQC310 제품으로 변경완료 되었습니다.(장비구매 및 교체 비용 : \ 6,700천원 소요)
SQC310 장비에 대한 사용 메뉴얼(영문)을 기존 사용 실적이 있는 분들께 메일로 송부드릴 예정이며 추가로 필요하신분은 5304(주한용)로 연락주시면 송부드리겠습니다.

추가로 챔버 도어의 오링을 교체하여 기존 상태보다 진공 정도가 좋고 짧은시간에 도달하니 구리스 도포 절대하지 마시고 사용바랍니다.

학과에서는 공동장비의 상태를 최상으로 유지해 양질의 실험조건을 만들기 위해 만전을 기하고 있으니 장비관련 건의사항이나 요청사항은 언제든지 문의해 주시고 장비 사용에 문제없도록 항상 주의를 기울여 주시기 바랍니다.

감사합니다.

주한용 올림

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안녕하세요
학과 기술실 주한용입니다.

E-Beam Evaporator Thickness Monitor 고장에 따라 임시적으로 사용 가능하게끔
동일 메이커의 다른 Thickness Monitor를 설치했습니다.

기존것과는 다르게 증착물질의 Material Parameter를 수동으로 넣어줘야 하는 번거로움이 있지만 신규 Thickness Monitor 설치까지 5주가량이 소요되어서 임시방편으로 E-Beam Evaporator를 가동하게끔 해놓았습니다.

장비에 올려진 Material Parameter _ Density를 활용하시고
항상 공동장비사용에 주의를 기울려 주시기 바랍니다.

**크리스탈 센서 부착관련 참조**
증착의 두께를 센싱하기 위해 설치되는 크리스탈 센서는 편평한면에 물질이
증착되어서 무늬가 있는측에서 신호를 받습니다. 따라서 챔버방향으로 편평한 면을 두고 콘트롤러측으로 무늬가 있는 방향이 위치해야 합니다. 참조바랍니다.

감사합니다.




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안녕하세요

E-Beam Evaporator Thickness Monitor 고장으로 사용이 불가함을 알려드립니다.

빠른 시일내에 정상화 될 수 있도록 하겠습니다

신소재공학과 행정팀 기술실
공동 장비 공동실험실 환경개선 공사 안내(갱신) 2013-03-12
공동 장비 증류기 예약 안내 2013-01-31
공동 장비 E-Beam Evaporator 사용 가능(12/17 17:00~) 2012-12-18
공동 장비 새 예약 시스템 2012-08-10
공동 장비 공동 장비 예약 관련 주의 사항 2012-08-10
공동 장비 학과장비 예약 방법 2012-08-07
SEM SEM 예약 관련 공지 2008-01-29
TEM 7월12-15일 휴가입니다. 2016-07-07
TEM 신소재공학과 워크샵 안내(6/30 ~ 7/1) 2016-06-30
TEM TEM 수리완료 2015-12-04
TEM 점검 공지 2015-09-30
TEM TEM 사용료 변경안내(13.07.01부터) 2015-03-23
TEM TEM기본사용료(취소료)에 관해 공지합니다. 2015-03-23
TEM TEM 예약일 변경(새예약시스템에서) 2012-09-06
 
+ 예약현황 (2017-05-27)
- 세미나실
 
시간 세미나실 예약자
16:00~18:30   제 1세미나실장준하
 
- 공동장비
 
시간 장비 예약자
00:00~24:00   E-Beam Evaporator(A-tech)주한용
01:30~02:30   E-Beam Evaporator(SNTEK)박경철
16:30~17:00   Mask Aligner(MDA-600S, 2016년형)김태진
19:30~22:00   Box Furnace(1400도)마호진