S4800점검 완료하여 장비 예약 오픈하였습니다.
(2/12 , 2:00PM~)


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(2/12)SEM(S4800, SU5000) 사용중지 안내(장비 점검)
작성자 : SEM관리자 작성일 : 2025-02-06 16:43:57 E-mail :
SEM(S4800, SU5000) 장비점검으로 사용을 중지하오니

양해 해 주시기 바랍니다.

*점검일 : 2월 12일 수요일 9시부터 ~ 점검 완료시까지

*S4800
- 스테이지 움직임 점검

*SU5000
- air시 경고음 후 장비 진공 꺼짐
- air시 챔버 open 시간 지연

조기 점거 완료 시 장비 예약 오픈 예정