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No. | 제목 | 작성자 | 등록일 | 조회수 |
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[공지] | (2023.03~)SEM(S4800, SU5000) 자율사용교육 신청 및 장비 매뉴얼 | SEM관리자 | 2022-04-26 | 726 |
[공지] | SEM 데이터 이동방법 변경 안내(USB->NAS) | SEM관리자 | 2024-06-26 | 204 |
1 | [완료](2/28-3/4)SU5000 사용시간 제한 | SEM관리자 | 2025-02-28 | 67 |
2 | [완료](2/25)SU5000 필터 교체 안내(1:00~3:30pm) | SEM관리자 | 2025-02-25 | 42 |
3 | [완료](2/20)Air시 경고음과 함께 evac 꺼짐현상 수리완료 | SEM관리자 | 2025-02-20 | 53 |
4 | [완료]SU5000 Air시 chamber open 시간지연 관련하여 | SEM관리자 | 2025-02-20 | 48 |
5 | [완료]SU5000 사용시간 제한 안내 | SEM관리자 | 2025-02-14 | 55 |
6 | [완료](2/12)S4800 사용재개 안내 | SEM관리자 | 2025-02-12 | 48 |
7 | [완료](2/7-2/12)SU5000 사용시간 제한 | SEM관리자 | 2025-02-07 | 35 |
8 | [완료](2/12)SEM(S4800, SU5000) 사용중지 안내(장비 점검) | SEM관리자 | 2025-02-06 | 35 |
9 | SEM 데이터 이동방법 변경 안내(USB->NAS) | SEM관리자 | 2024-06-26 | 204 |
10 | (2023.03~)SEM(S4800, SU5000) 자율사용교육 신청 및 장비 매뉴얼 | SEM관리자 | 2022-04-26 | 726 |
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