지난주부터 E-beam(SNTEK) 장비 챔버 내 샘플 홀더 드랍 현상이 지속적으로 발생하여,
진공을 해제하고 홀더와 샘플을 수거하는 일이 반복되고 있습니다.
현재 이로 인해 정상적인 장비 사용이 어려운 상황입니다.

원인은 샘플 rotation 파트로 추정되나 정확한 원인은 업체 방문이 필요합니다.

예약시스템의 장비 예약은 가능하게 오픈하오나 아래 사항은 참고하시기 바랍니다.

* sample rotation 미사용 : 중요한 샘플이면 되도록이면 예약 취소를 권장합니다.
(원인이 확실하지 않아, 샘플 rotation 미사용에도 샘플 드랍으로 웨이퍼가 깨질 수 있습니다.)

* sample rotation 사용 : 예약을 취소 해 주시기 바랍니다.

* 기타사항 : 추석 후 업체 방문 점검 예정