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SU5000 Air시 chamber open 시간지연 관련하여

작성자 : TEM관리자 작성일 : 2025-02-20 16:53:27
SU5000 chamber Air시

정상적으로는 5분 이내에 비프음이 울리고 chamber가 open 됩니다.

현재 필터 오염으로 open되기까지 10분정도 소요되오니 부품교체 전까지

양해 해 주시기 바랍니다.
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